X 光管：Sealed Type（Maintenance-free)

封闭型（免维护）

聚集尺寸：3Micron   3微米

高电压：20-90KV

管电流：86mA

运动行程：300mm

传感器：TOSHIBA

高分辩率：75/110   LP/cm

相机：1,400,000X   Camera   140万像素相机

像素大小：6.45×6.45um

检测范围：420×420mm

平台升降：600mm

放大倍数：Approx.6-340X    约6~340倍

几何放大：340-3400 倍